山东科宏净化-净化车间改造公司-淄博净化车间

净化室环境立即危害芯片制程加工工艺产品合格率。芯片的生产制造要使用数千流程，整个过程中环境温度、气体洁净度遭受十分严谨的---，在这类环境的洁净室，根据各种各样工业设备，将晶圆片持续的运转开展生产加工，通过严谨的制程和严格的无尘室环境下进行封装形式芯片。大家都知道，空气中本就充斥着尘埃，细微到人眼不由此可见，净化车间改造，可是这种尘埃如落在生产制造芯片的环境中，针对每一个电子管的容积它便是非常大颗粒物了，在制程中尘埃或是污染物质落到晶圆上，会导致芯片的短路故障及烧蚀等别的欠佳。因而---芯片的高良率，就需要维护它的高生产制造环境和洁净度!

测试程序：

1）确定空调系统正常运转并可供测试，净化车间改造公司，风速与风量必需调整平衡完毕。

2）允许使用pvc布做环绕高校过滤器的遮断二次气流的干扰。

3）过滤器上游释放pao气溶胶，微粒浓度是大约每公升空气含有20到50微克。

4）过滤器的全部面积均必须以光度计做扫描泄漏测试。扫描点乃位于过滤器表面下方25mm，而扫描速度则为50mm/sec。

5）所有穿透过滤器安装框架的测试孔、导线孔等，均采用激光粒子计数器进行扫描测试，扫描点在其表面20~100mm间，扫描速度50mm/sec。

6）在过滤器下游采样，检查浓度。若是下游浓度超过设定值（0.01%）则判定为泄漏。

7）如果过滤器表面出现泄漏，更换过滤器。框架出现泄漏，过滤器的安装边框需进行密封处理。直至过滤器泄漏合格。

测试仪器：

气溶胶光度计：ati-2h一台，采样量1cfm

气溶胶发生器：ati-4b一台、pao溶剂4升

空气压缩机：puma-2p一台

合格标准：过滤器包括安装边框扫描所有泄露率不超过0.01%。